高感度厚膜圧力センサの調製と特性

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J-GLOBAL ID：200902101924954356 整理番号：99A0269556

Preparation and Properties of High Sensitive Thick Film Pressure Sensor.

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資料名：
号： 56 ページ： 22P 発行年： 1999年01月
JST資料番号： G0752B ISSN： 0386-1678 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

厚膜圧力センサの物理・電気特性を明らかにし,高感度圧力センサ...

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力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器

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