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J-GLOBAL ID：200902101955775590   整理番号：98A0422369

ペニング放電マイクロスパッタリングにより現出した金属組織の顕微鏡観察のためのレプリカ作成技術

Replication Technique for Microscopic Examination of Microstructures Etched by Penning Discharge Micro-Sputtering.

著者 (5件)： 田中秀雄 (金材技研) ,  西川英一 (東京理大 工) ,  阿部冨士雄 (金材技研) ,  八木晃一 (金材技研) ,  杉田利男 (東京理大 工)
資料名： 日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
巻： 64  号： 619  ページ： 795-800  発行年： 1998年03月 
JST資料番号： F0227B  ISSN： 0387-5008  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ペニング放電マイクロスパッタリング技術を用いた金属組織現出法...

シソーラス用語： *金属組織 ,...
準シソーラス用語： SEM【電顕】 ,...

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分類 (1件)： 金属組織観察法  (WB01010R)

引用文献 (11件)：

• 桑原和夫. 損傷の実態と非破壊検査技術シンポジウム論文集. 1984, 157
• 目時吉擴. 火力原子力発電. 1990, 41, 1071
• 栗山凌治. 火力原子力発電. 1989, 40, 421
• 瀬戸口克哉. 日本材料学会, 第22回高温強度シンポジウム. 1984
• 藤山一成. 材料. 1988, 37, 315

タイトルに関連する用語 (6件)： ペニング放電 ,  スパッタリング ,  金属組織 ,  顕微鏡観察 ,  レプリカ ,  作成技術