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J-GLOBAL ID：200902102308249980   整理番号：97A0400551

CO₂及びエキシマレーザの二重照射によるSiC-Si₃N₄復合材料の合成と特性化

Synthesis and characterization of SiC-Si₃N₄ composites by dual irradiation of CO₂ and excimer lasers.

著者 (4件)： YAMADA T (UBE Ind., Ltd., Yamaguchi, JPN) ,  TANAKA Y (UBE Ind., Ltd., Yamaguchi, JPN) ,  SUEMASU T (UBE Ind., Ltd., Yamaguchi, JPN) ,  KOHTOKU Y (UBE Ind., Ltd., Yamaguchi, JPN)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 121  号： 1/4  ページ： 378-382  発行年： 1997年01月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiH₄,C₂H...

シソーラス用語： レーザ照射 ,...

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分類 (2件)： 放射線化学反応  (CB09020M) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (5件)： CO2 ,  エキシマレーザ ,  SiC ,  Si3N4 ,  特性化