文献

J-GLOBAL ID：200902102458236045   整理番号：93A0565340

結晶格子を基準とした測長 10ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定

Comparison Measurement with a Crystalline Lattice as the Scale Reference. Measurement of Accuracy for a Measurement Range of 10nm.

著者 (5件)： 川勝英樹 (東大 生産技研) ,  樋口俊郎 (東大 工) ,  川合稔 (東大 生産技研) ,  渡辺道仁 (東大 生産技研) ,  西沖暢久 (ミツトヨ)
資料名： 生産研究  (Journal of Institute of Industrial Science, the University of Tokyo)
巻： 45  号： 6  ページ： 89-91  発行年： 1993年06月 
JST資料番号： G0185A  ISSN： 0037-105X  CODEN： SEKEAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： デュアルトンネルユニットSTM(DTU-STM)と黒鉛結晶を...

シソーラス用語： 走査型トンネル顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： 黒鉛 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0565340&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0185A") }}

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (3件)： 結晶格子 ,  測長 ,  オーダ