文献

J-GLOBAL ID：200902102685621478   整理番号：93A0242250

高周波誘導プラズマ中の電磁場

Electromagnetic fields in a radio-frequency induction plasma.

著者 (4件)： HOPWOOD J (IBM Research Division, New York) ,  GUARNIERI C R (IBM Research Division, New York) ,  WHITEHAIR S J (IBM Research Division, New York) ,  CUOMO J J (IBM Research Division, New York)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 11  号： 1  ページ： 147-151  発行年： 1993年01月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波誘導プラズマを駆動する電磁場を模型計算するとともに,実...

シソーラス用語： プラズマ診断 ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,...

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分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高周波 ,  誘導プラズマ ,  電磁場