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J-GLOBAL ID：200902102707731671   整理番号：97A0823462

電子サイクロトロン共鳴プラズマにおけるHe準安定原子の空間分布

Spatial Distribution of He Metastable Atoms in Electron Cyclotron Resonance Plasma.

著者 (4件)： TOYOTA H (Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  WATANABE W (Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  TAKIYAMA K (Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  ODA T (Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36  号： 7B  ページ： 4670-4674  発行年： 1997年07月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマプロセシング用の電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラ...

シソーラス用語： ECRプラズマ ,...

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分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (12件)：

• 1) M. Yuasa, H. Kawarada, J. Wei, J.S. Ma, J. Suzuki, S. Okada and A. Hiraki: Surf. Coat. Technol. 49 (1991) 374.
• 2) H. Yoshida, H. Kawamura, M. Ukai, N. Kouchi and Y. Hatano: J. Chem. Phys. 96 (1992) 4372
• 3) H. Yoshida, M. Ukai, H. Kawamura, N. Kouchi and Y. Hatano: J. Chem. Phys. 97 (1992) 3289
• 4) Y. Ichikawa and S. Teiji: J. Phys. D 13 (1980) 1243
• 5) E. A. Den Hartog, D. A. Doughty and J.E. Lawler: Phys. Rev. A38 (1988) 2471

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子サイクロトロン共鳴プラズマ ,  He ,  空間分布