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J-GLOBAL ID：200902102826352093   整理番号：97A0303383

原子間力顕微鏡によるマイカのナノメータスケールの機械加工

Nanometer-scale Mechanical Processing of Muscovite Mica by Atomic Force Microscope.

著者 (4件)： 三宅正二郎 (日本工大 工) ,  石井正紀 (日本工大 大学院) ,  大竹利明 (日本工大 大学院) ,  津嶋尚武 (日本工大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 63  号： 3  ページ： 426-430  発行年： 1997年03月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記加工の原理と実験結果について報告した。先端径50nm以下...

シソーラス用語： 雲母 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• EIGLER, D. M. Positioning Single Atoms with Scanning Tunneling Microscope. Nature. 1990, 334, 524
• MAMIN, H. J. Theromomechanical Writing with an Atomic Force Microscope Tip. Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 1003
• 左光大和. 電気的に加工を制御した機械・化学作用複合ポリシングの研究. 精密工学会誌. 1995, 61, 4, 552
• 三宅正二郎. ナノメータースケールの薄膜形成技術. 精密工学会誌. 1993, 59, 4, 563
• KANEKO, R. Microtribology for Magnetic Recording. STLE Special Publi. 1990, sp-27, 31

タイトルに関連する用語 (3件)： 原子間力顕微鏡 ,  マイカ ,  機械加工