文献
J-GLOBAL ID：200902102911765402   整理番号：98A0653550

EUV基盤技術とその応用の現状 SR光反応加工

Extreme Ultraviolet Technology and the Applications. Microfabrication Process Using Synchrotron Radiation Excited Photodecomposition.
著者 (1件)：
加藤隆典

加藤隆典 について

(住友重機械工業)

住友重機械工業 について


資料名：
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

精密工学会誌 について


巻： 64  号： 7  ページ： 1008-1011  発行年： 1998年07月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
SR(Syncrotron Radiation)光エッチング...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*シンクロトロン放射

シンクロトロン放射 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
EUV【紫外光】

EUV【紫外光】 について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=98A0653550&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  赤外・遠赤外領域の測光と光検出器 
(BD07032W)

赤外・遠赤外領域の測光と光検出器 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
EUV

EUV について

, 
基盤技術

基盤技術 について

, 
応用

応用 について

, 
現状

現状 について

, 
SR光

SR光 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM