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J-GLOBAL ID：200902103712609368   整理番号：94A0179097

AFM用マイクロカンチレバーの作製 (II)

Fabrication of Microcantilevers for AFM. (II).

著者 (6件)： 高山美智雄 (オリンパス光学工業) ,  太田亮 (オリンパス光学工業) ,  唐津和裕 (オリンパス光学工業) ,  上田博 (オリンパス光学工業) ,  戸田明敏 (オリンパス光学工業) ,  松山克宏 (オリンパス光学工業)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 2  ページ： 384  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： AFM ,  マイクロカンチレバー ,  作製