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J-GLOBAL ID：200902104246269868   整理番号：97A0689481

ホットフィラメントCVDにおけるダイヤモンド核形成への圧力効果

Pressure effect on diamond nucleation in a hot-filament CVD system.

著者 (5件)： LEE S T (City Univ. Hong Kong, HKG) ,  LAM Y W (City Univ. Hong Kong, HKG) ,  LIN Z (Inst. Physics, Chinese Acad. China, Beijing, CHN) ,  CHEN Y (Inst. Physics, Chinese Acad. China, Beijing, CHN) ,  CHEN Q (Inst. Physics, Chinese Acad. China, Beijing, CHN)
資料名： Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics  (Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics)
巻： 55  号： 23  ページ： 15937-15941  発行年： 1997年06月15日 
JST資料番号： D0746A  ISSN： 1098-0121  CODEN： PRBMDO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極めて低い圧力(0.1-1Torr)で,鏡面研磨シリコン上に...

シソーラス用語： 炭素 ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性 ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： ホットフィラメントCVD ,  ダイヤモンド ,  核形成 ,  圧力効果