CVDによるAlN/TiNナノストラクチャーセラミックスの合成とその評価 (2)

文献

J-GLOBAL ID：200902104524431612 整理番号：95A0502167

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資料名：
巻： 27th 号： Pt 3 ページ： 241 発行年： 1994年09月
JST資料番号： L0827A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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