文献
J-GLOBAL ID：200902104579969638 整理番号：93A0925042
絵とき「超LSI時代のミクロプロセス入門」 (20) 内部配線 (3)
Microprocess in the VLSI Age. Wiring Inside. (3).
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著者 (1件)：
佐藤洋一
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東海大 短大 について
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資料名：
エレクトロニクス
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巻：
38
号：
11
ページ：
17-20
発行年：
1993年11月
JST資料番号：
F0037A
ISSN：
0421-3513
CODEN：
ERKTA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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電気的障壁のない接触をつくることは,配線技術にとって重要な課...
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