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J-GLOBAL ID：200902104853148522   整理番号：94A0058725

スパッタリングガス凝集とイオンクラスタービーム技術によって産生されるAgクラスタの比較高分解能電子顕微鏡研究

A Comparative High Resolution Electron Microscope Study of Ag Clusters Produced by a Sputtering-Gas Aggregation and Ion Cluster Beam Technique.

著者 (5件)： HOHL G-F (Tohoku Univ., Sendai) ,  SUMIYAMA K (Tohoku Univ., Sendai) ,  HIHARA T (Tohoku Univ., Sendai) ,  SAKURAI M (Tohoku Univ., Sendai) ,  SUZUKI K (Tohoku Univ., Sendai)
資料名： 日本金属学会講演概要  (Collected Abstracts of the Meeting of the Japan Institute Metals)
巻： 113th  ページ： 282  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： S0988A  ISSN： 1342-5730  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (8件)： スパッタリングガス ,  凝集 ,  イオンクラスター ,  ビーム技術 ,  Ag ,  クラスタ ,  高分解能電子顕微鏡 ,  研究