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J-GLOBAL ID:200902104951070248   整理番号:97A0191914

発光顕微鏡観察および液晶解析の故障検証シミュレーション

Fault Verification Simulation for Light-Emission Microscopy and Liquid-Crystal Analysis.
著者 (4件):
資料名:
巻: 22nd  ページ: 121-126  発行年: 1996年 
JST資料番号: D0658B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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発光顕微鏡観察(LEM)または液晶解析(LCA)における洩れ...
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分類 (1件):
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固体デバイス計測・試験・信頼性 

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