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J-GLOBAL ID：200902104965146727   整理番号：94A0902153

ECRスパッタ法によるPZT薄膜の作製 (II)

Preparation of PZT thin films by ECR sputtering. (II).

著者 (3件)： 久保竜一 (村田製作所) ,  外山元夫 (村田製作所) ,  田中克彦 (村田製作所)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 55th  号： 2  ページ： 387  発行年： 1994年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： スパッタ法 ,  PZT ,  薄膜 ,  作製