文献

J-GLOBAL ID：200902105482594660   整理番号：98A0986899

低エネルギー電子・イオンダイナミックスとシミュレーション技法

Dynamics and simulation technique oflow energy electron and ion.

資料名： 電気学会技術報告
号： 691  ページ： 74P  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： S0378A  ISSN： 0919-9195  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子とガス分子間の衝突を定量的に与える断面積を広く調査し,電...

シソーラス用語： *プラズマ ,...

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分類 (1件)： 放電一般  (BJ03010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： エネルギー電子 ,  イオン ,  ダイナミックス ,  シミュレーション ,  技法