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J-GLOBAL ID：200902105607157616   整理番号：02A0406178

スーパーコネクト技術 ウェーハレベル3次元集積化技術

著者 (2件)：
栗野浩之

栗野浩之 について

(東北大 大学院工学研究科)

東北大 大学院工学研究科 について

, 
小柳光正

小柳光正 について

(東北大 大学院工学研究科)

東北大 大学院工学研究科 について


資料名：
表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)

表面技術 について


巻： 53  号： 4  ページ： 228-232  発行年： 2002年04月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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LSIシステムレベルでの小型化の要求に対応する標記技術内容を...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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超LSI

超LSI について

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スーパーコネクト技術

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
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3次元集積化

3次元集積化 について


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