錫蒸着膜の電気抵抗によるSF<sub>6</sub>分解ガスの検出

文献

J-GLOBAL ID：200902105786131225 整理番号：99A0109036

錫蒸着膜の電気抵抗によるSF₆分解ガスの検出

Detection of SF₆-decomposition product gases using the electricresistance in Tin evaporated thin films.

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資料名：
号： 31 ページ： 45-48 発行年： 1998年12月
JST資料番号： F0836A ISSN： 0286-2603 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

すずの蒸着膜厚が300~350Åでは電気抵抗値の変化が著しく...

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分析機器 , 絶縁材料

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