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J-GLOBAL ID：200902105786131225   整理番号：99A0109036

錫蒸着膜の電気抵抗によるSF6分解ガスの検出

Detection of SF6-decomposition product gases using the electricresistance in Tin evaporated thin films.
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著者 (3件)：
梶田省吾

梶田省吾 について

(豊田工高専)

豊田工高専 について

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後田澄夫

後田澄夫 について

(豊田工高専)

豊田工高専 について

, 
佐藤正明

佐藤正明 について

(豊田工高専)

豊田工高専 について


資料名：
豊田工業高等専門学校研究紀要  (Journal of Toyota National College of Technology)

豊田工業高等専門学校研究紀要 について


号： 31  ページ： 45-48  発行年： 1998年12月 
JST資料番号： F0836A  ISSN： 0286-2603  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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すずの蒸着膜厚が300~350Åでは電気抵抗値の変化が著しく...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*ガスセンサ

ガスセンサ について

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分類 (2件)：
分類
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分析機器 
(CC02020S)

分析機器 について

,  絶縁材料 
(NA04030W)

絶縁材料 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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錫

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蒸着膜

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電気抵抗

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SF6

SF6 について

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分解ガス

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