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J-GLOBAL ID：200902105917839610   整理番号：01A0398289

大面積光検出器用の半導体基板上のZnO薄膜

ZnO thin films on semiconductor substrate for large area photodetector applications.

著者 (3件)： PURICA M (National Inst. Res. and Dev. Microtechnol., Bucharest, ROM) ,  BUDIANU E (National Inst. Res. and Dev. Microtechnol., Bucharest, ROM) ,  RUSU E (Inst. Applied Physics, Chishinev, MDV)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 383  号： 1/2  ページ： 284-286  発行年： 2001年02月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si又はInP基板上の透明導電ZnO層から成るヘテロ接合を作...

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,...

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分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光伝導,光起電力  (BM03050J) ,  測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大面積 ,  光検出器 ,  半導体基板 ,  ZnO薄膜