シリコン中の銅の物理学

ISTRATOV A A; WEBER E R

文献

J-GLOBAL ID：200902106770254854 整理番号：02A0182942

シリコン中の銅の物理学

Physics of Copper in Silicon.

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資料名：
巻： 149 号： 1 ページ： G21-G30 発行年： 2002年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

過去数年にわたるSi中のCuの研究の進歩を総説し,Si中Cu...

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固体中の拡散一般 , 物理化学一般その他

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