電気めっきおよびスパッタ蒸着した銅表面の酸化のX線光電子分光特性評価

APEN E; ROGERS B R; SELLERS J A

文献

J-GLOBAL ID：200902106897610374 整理番号：98A0631317

電気めっきおよびスパッタ蒸着した銅表面の酸化のX線光電子分光特性評価

X-ray photoelectron spectroscopy characterization of the oxidation of electroplated and sputter deposited copper surfaces.

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巻： 16 号： 3 Pt 1 ページ： 1227-1232 発行年： 1998年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

配線構造の作製に用いられる化学プロセス剤や大気に曝した標記銅...

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金属の表面構造 , 金属薄膜

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