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J-GLOBAL ID：200902106913356157   整理番号：98A0631323

rfマグネトロンスパッタで作製したSrBi₂Ta₂O₉薄膜の微細構造に依存した強誘電体特性

Microstructure-dependent ferroelectric properties of SrBi₂Ta₂O₉ thin films fabricated by radio frequency magnetron sputtering.

著者 (4件)： CHO K-J (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  LEE J-K (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  JUNG H-J (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  PARK J-W (Hanyang Univ., Seoul, KOR)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 16  号： 3 Pt 1  ページ： 1258-1261  発行年： 1998年05月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記SBT薄膜の強誘電体特性に対する微細構造の依存性をrfマ...

シソーラス用語： *誘電体薄膜 ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  マグネトロンスパッタ ,  作製 ,  薄膜 ,  微細構造 ,  強誘電体