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J-GLOBAL ID：200902106994772885   整理番号：00A0718736

NbをドープしたTiO₂薄膜のNO₂感知特性と電子的性質

NO₂ sensing characteristics of Nb doped TiO₂ thin films and their electronic properties.

著者 (5件)： YAMADA Y (Toyota Central Res. and Dev. Lab., Aichi, JPN) ,  SENO Y (Toyota Central Res. and Dev. Lab., Aichi, JPN) ,  MASUOKA Y (Toyota Central Res. and Dev. Lab., Aichi, JPN) ,  NAKAMURA T (Toyota Central Res. and Dev. Lab., Aichi, JPN) ,  YAMASHITA K (Toyota Central Res. and Dev. Lab., Aichi, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： B66  号： 1/3  ページ： 164-166  発行年： 2000年07月25日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スパッタリングにより,Ti-Nb合金をAl<sub>2</s...

シソーラス用語： *ガスセンサ ,...
準シソーラス用語： TPD【脱着】 ,...

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分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： Nb ,  ドープ ,  TiO2 ,  薄膜 ,  NO2 ,  感知 ,  電子 ,  性質