GaAs上のエッチ誘起表面参照のプラズマ不動態化

KO K K; PANG S W

文献

J-GLOBAL ID：200902107022676432 整理番号：96A0169145

GaAs上のエッチ誘起表面参照のプラズマ不動態化

Plasma passivation of etch-induced surface damage on GaAs.

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巻： 13 号： 6 ページ： 2376-2380 発行年： 1995年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

エッチ誘起損傷を除去するため,種々のプラズマ不動態化法を検討...

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固体デバイス製造技術一般

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