ターボ翼の低真空性能予測に関する研究

文献

J-GLOBAL ID：200902107112293419 整理番号：02A0627695

Study on the Performance Prodiction of Turbine Blade under Low Vacuum.

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巻： 68 号： 671 ページ： 2064-2070 発行年： 2002年07月25日
JST資料番号： F0036B ISSN： 0387-5016 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

半導体・液晶製造装置分野において広く用いられているターボ分子...

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真空ポンプ

引用文献 (7件)：

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