走査型プローブ顕微鏡を用いるナノメータスケールでの表面修飾  1991年以後の進歩

NYFFENEGGER R M; PENNER R M

文献

J-GLOBAL ID：200902107300633898 整理番号：97A0692798

走査型プローブ顕微鏡を用いるナノメータスケールでの表面修飾 1991年以後の進歩

Nanometer-Scale Surface Modification Using the Scanning Probe Microscope: Progress since 1991.

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巻： 97 号： 4 ページ： 1195-1230 発行年： 1997年06月
JST資料番号： B0256A ISSN： 0009-2665 CODEN： CHREAY 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標題について,特に走査型プローブリソグラフィー(SPL)の適...

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固体の表面構造一般 , 顕微鏡法 , 集積回路一般

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