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J-GLOBAL ID:200902107300633898   整理番号:97A0692798

走査型プローブ顕微鏡を用いるナノメータスケールでの表面修飾 1991年以後の進歩

Nanometer-Scale Surface Modification Using the Scanning Probe Microscope: Progress since 1991.
著者 (2件):
資料名:
巻: 97  号:ページ: 1195-1230  発行年: 1997年06月 
JST資料番号: B0256A  ISSN: 0009-2665  CODEN: CHREAY  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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標題について,特に走査型プローブリソグラフィー(SPL)の適...
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分類 (3件):
分類
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固体の表面構造一般  ,  顕微鏡法  ,  集積回路一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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