文献
J-GLOBAL ID:200902107392075144 整理番号:93A0702164
クリーンルームの付帯設備 (6) クリーン保管庫
Attached facilities for a clean room.(6).A clean storage.
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著者 (1件):
川又亨
川又亨 について
名寄せID(JGPN) 201550000300011554 ですべてを検索
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(
日本エアーテック
)
日本エアーテック について
名寄せID(JGON) 201551000096257828 ですべてを検索
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資料名:
クリーンテクノロジー (Clean Technology)
クリーンテクノロジー について
JST資料番号 L1138A ですべてを検索
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巻:
3
号:
8
ページ:
74-77
発行年:
1993年08月
JST資料番号:
L1138A
ISSN:
0917-1819
CODEN:
KTEKER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
紹介的記事
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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主に半導体製造用クリーンルームで用いられる保管庫に関する製品...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
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空気浄化
(PC02060X)
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