文献
J-GLOBAL ID：200902107554727370 整理番号：03A0291495
6相交流電源を用いた大面積プラズマの生成
Large-Volume Plasma Production by 6-Phase Voltage Source
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著者 (1件)：
橋本好幸
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名寄せID(JGPN) 200901100552882612 ですべてを検索
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(
神戸高専
)
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名寄せID(JGON) 202351000184507330 ですべてを検索
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資料名：
プラズマ応用科学 (Applied Plasma Science)
プラズマ応用科学 について
JST資料番号 L4460A ですべてを検索
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巻：
10
ページ：
11-16
発行年：
2002年12月
JST資料番号：
L4460A
ISSN：
1340-3214
CODEN：
POKAFE
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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6相交流電源を用いて大容量均一プラズマを生成し,グロー放電の...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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