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J-GLOBAL ID:200902107565030737   整理番号:94A0611221

能動制御型マイクロ磁気軸受

Micromachined Active Magnetic Bearing.
著者 (6件):
資料名:
巻: 46  号:ページ: 373-375  発行年: 1994年07月 
JST資料番号: G0185A  ISSN: 0037-105X  CODEN: SEKEAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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マイクロマシンへの適用を考えて,能動型マイクロ磁気軸受の試作...
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分類 (2件):
分類
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軸受  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
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