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J-GLOBAL ID：200902107608330667   整理番号：98A0535023

水晶振動子マイクロバランス(QCM)法を用いたAgおよびCuのマイグレーション過程の検討

Investigation of Ag and Cu Migration Process Using Quartz Crystal Microbalance.

著者 (5件)： 鶴田加一 (宇都宮大 大学院) ,  野中重嗣 (宇都宮大 工) ,  手塚秀夫 (宇都宮大 工) ,  吉原佐知雄 (宇都宮大 工) ,  白樫高史 (宇都宮大 工)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 49  号： 5  ページ： 514-518  発行年： 1998年05月 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： AgおよびCuのマイグレーション過程をその場分析した。QCM...

シソーラス用語： *エレクトロマイグレーション ,...
準シソーラス用語： 陰極還元 ,...

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分類 (2件)： 金属中の拡散  (BL06022C) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (10件)：

• KOHMAN, G. T. Bell System Tech. J. 1955, 34, 1115
• der MARDERSIAN, A. Proc. Int., Microelectron, Symp. 1978. 1978, 134
• 村田安裕. 信学技報. 1985, R85-18, 31
• 高萩泰. 信学技報. 1984, R84-64, 19
• AWANO, T. RINTED CIRCUIT WORLD CONVENTION IV. 1987, 47-1

タイトルに関連する用語 (8件)： 水晶振動子 ,  マイクロバランス ,  QCM ,  法 ,  Ag ,  Cu ,  マイグレーション ,  過程