文献
J-GLOBAL ID：200902108454067638 整理番号：02A0200584
半導体露光装置の開発
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著者 (1件)：
渥美しのぶ
渥美しのぶ について
名寄せID(JGPN) 201550000042015043 ですべてを検索
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(
ニコン
)
ニコン について
名寄せID(JGON) 201551000097167881 ですべてを検索
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資料名：
計測と制御 (Journal of the Society of Instrument and Control Engineers)
計測と制御 について
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巻：
41
号：
1
ページ：
8-12
発行年：
2002年01月10日
JST資料番号：
F0131A
ISSN：
0453-4662
CODEN：
KESEA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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縮小露光装置の初期モデル開発のプロセスを振り返ってみた。スキ...
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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般
(NC03030V)
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引用文献 (3件)：
1) 滝川忠広 (編集代表): ULSIリソグラフィ技術の革新, 第1章第1節, 超解像技術, サイエンスフォーラム社 (1994)
2) 現代情報工学研究会: ニコンの技術者集団, ダイヤモンド社 (1985)
3) 四方智: NSRシステム (縮小投影露光装置), オートメーション, 28-7, 日刊工業新聞社 (1983)
タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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