水素を含まない正四面体炭素膜作製とトライボロジーキャラクタリゼーション

文献

J-GLOBAL ID：200902108543686619 整理番号：97A0840125

Hydrogen free tetrahedral carbon film preparation and tribological characterisation.

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資料名：
巻： 13 号： 3 ページ： 213-217 発行年： 1997年
JST資料番号： A0614C ISSN： 0267-0844 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

フィルタ処理カソード真空アーク(FCVA)成膜法による非晶質...

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その他の無機化合物の薄膜 , 炭素とその化合物

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