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J-GLOBAL ID：200902108581425527   整理番号：97A0318295

陽極酸化アルミナ膜を用いた微小片持ち梁のたわみ特性

Deflection of the microcantilever beams using anodic oxidation alumina.
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著者 (3件)：
佐藤洋一

佐藤洋一 について

(東海大 短大)

東海大 短大 について

, 
岡田工

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(東海大 短大)

東海大 短大 について

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CHOE I Y

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(東海大 短大)

東海大 短大 について


資料名：
東海大学短期大学紀要  (Proceedings of the Tokai University Junior Colleges)

東海大学短期大学紀要 について


号： 30  ページ： 151-155  発行年： 1996年 
JST資料番号： X0158A  ISSN： 0386-8664  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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アルミを陽極酸化して得られたアルミナ薄膜を使ってマイクロマシ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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アルミナ

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分類 (2件)：
分類
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化成処理 
(WC08050J)

化成処理 について

,  梁,桁 
(HD03020H)

梁,桁 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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陽極酸化

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アルミナ膜

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微小片持ち梁

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, 
たわみ

たわみ について


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