線集束ビーム超音波材料評価システムの開発

KUSHIBIKI J; ONO Y; OHASHI Y; ARAKAWA M

文献

J-GLOBAL ID：200902109044891739 整理番号：02A0232374

線集束ビーム超音波材料評価システムの開発

Development of the Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System.

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資料名：
巻： 49 号： 1 ページ： 99-113 発行年： 2002年01月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

電子デバイスに使用する大口径結晶,ウェーハを評価するために線...

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非破壊試験 , 音響測定

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