SRリソグラフィによる微細複合圧電振動子の実現

文献

J-GLOBAL ID：200902109189408319 整理番号：98A0431023

Piezocomposite of fine PZT Rods Realized with Synchrotoron Radiation Lithography.

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資料名：
巻： 75th 号： 1 ページ： 59-60 発行年： 1998年03月
JST資料番号： X0588A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

SRリソグラフィと微細モールドプロセスからなるLIGAプロセ...

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生体計測

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