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J-GLOBAL ID:200902109363800525   整理番号:96A0650168

薄膜トランジスタへのレーザビームの応用

Laser beam application to thin film transistors.
著者 (1件):
資料名:
巻: 96/98  ページ: 352-358  発行年: 1996年04月 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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レーザ結晶化及び非晶質化を研究した。XeClエキシマレーザ照...
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分類 (2件):
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トランジスタ  ,  レーザ照射・損傷 
タイトルに関連する用語 (3件):
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