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J-GLOBAL ID：200902109389805320   整理番号：03A0050093

テンプレート層上にパルスレーザ蒸着で誘導したジルコニウム酸チタン酸鉛薄膜の電気特性に及ぼすターゲット内Zr/Ti比の効果

Effect of Zr/Ti Ratio in Targets on Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate Thin Films Derived by Pulsed Laser Deposition on Template Layer.

著者 (5件)： WANG Z-J (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KARIBE I (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YAN L J (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KOKAWA H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MAEDA R (National Inst. Advanced Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41  号： 11B  ページ： 6658-6663  発行年： 2002年11月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標題強誘電体Pb(Zr_xTi<sub>...

シソーラス用語： 強誘電体 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】 ,...

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分類 (2件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (20件)：

• 1) J. Chu, Z. J. Wang and R. Maeda: Jpn. J. Appl. Phys. 38 (1999) L1482.
• 2) J. Chu, Z. J. Wang, R. Maeda, K. Kataoka, T. Itoh and T. Suga: J. Vac. Sci. & Technol. <B>B18</B> (2000) 3604.
• 3) A. Schroth, R. Maeda, J. Akedo and M. Ichiki: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 5342.
• 4) A. Schroth, C. Lee, S. Matsumoto and R. Maeda: Sens. & Actuat. <B>73</B> (1999) 144.
• 5) R. Maeda, Z. J. Wang, J. Chu, J. Akedo, M. Ichiki and S. Yonekubo: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 7116.

タイトルに関連する用語 (9件)： テンプレート ,  パルスレーザ蒸着 ,  誘導 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  電気特性 ,  ターゲット ,  Zr ,  Ti