シリコン中の不純物や欠陥の特性評価のための室温光ルミネッセンスの応用

文献

J-GLOBAL ID：200902109725691142 整理番号：00A0037058

Application of room temperature photoluminescence for the characterization of impurities and defects in silicon.

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巻： 3895 ページ： 21-37 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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