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J-GLOBAL ID：200902109758457218   整理番号：02A0848652

CVD法によるトンネル顕微鏡用カーボンファイバー探針の作製

著者 (3件)： 吉村雅満 (豊田工大 ナノハイテクリサーチセ) ,  城貞晴 (豊田工大 ナノハイテクリサーチセ) ,  上田一之 (豊田工大 ナノハイテクリサーチセ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 63rd  号： 2  ページ： 481  発行年： 2002年09月24日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： CVD法 ,  トンネル ,  顕微鏡 ,  カーボンファイバー ,  探針 ,  作製