10<sup>-9</sup>~10<sup>-2</sup>Torrの残留ガス分析用の四重極分析計の小形アレイにおける高圧効果

FERRAN R J; BOUMSELLEK S

文献

J-GLOBAL ID：200902109824803335 整理番号：96A0682899

10^-9~10^-2Torrの残留ガス分析用の四重極分析計の小形アレイにおける高圧効果

High-pressure effects in miniature arrays of quadrupole analyzers for residual gas analysis from 10^-9 to 10^-2Torr.

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資料名：
巻： 14 号： 3 Pt 1 ページ： 1258-1265 発行年： 1996年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

16個のロッドで9個の四重極質量分析を形成する分析計アレイを...

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質量分析計

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10-9~10-2Torrの残留ガス分析用の四重極分析計の小形アレイにおける高圧効果

10^-9~10^-2Torrの残留ガス分析用の四重極分析計の小形アレイにおける高圧効果