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J-GLOBAL ID:200902109903147397   整理番号:98A0004612

エキシマレーザビームの均一化のために石英ガラス中で複製した回折マイクロレンズ

Diffractive microlenses replicated in fused silica for excimer laser-beam homogenizing.
著者 (3件):
資料名:
巻: 36  号: 32  ページ: 8481-8489  発行年: 1997年11月10日 
JST資料番号: B0026B  ISSN: 1559-128X  CODEN: APOPAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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回折マイクロレンズに基づいた回折ビーム均一化器を調べた。直接...
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分類 (2件):
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光デバイス一般  ,  気体レーザ 
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