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J-GLOBAL ID：200902110069051750   整理番号：96A0759012

学生に贈る シリコンウエハーはどこまで大きくなるのか

Dedicated to our students. How to choose the Si wafer diameter and what are the issues in large diameter Si crystal growth?
著者 (1件)：
高須新一郎

高須新一郎 について

(SEMIジャパン)

SEMIジャパン について


資料名：
応用物理  (JSAP International)

応用物理 について


巻： 65  号： 8  ページ： 832-840  発行年： 1996年08月 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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抄録/ポイント
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本講義は「応用物理」の学生読者を対象とするものである。まずシ...
シソーラス用語：
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ケイ素

ケイ素 について

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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス材料 
(NC03020K)

固体デバイス材料 について

,  半導体の結晶成長 
(BK13040X)

半導体の結晶成長 について

引用文献 (35件)：
  • SIA. Semiconductor Technology, Workshop Working Group Reports. 1992
  • SIA. The National Technology Roadmap for Semiconductor. 1994
  • NOYCE, R. Scientific American. 1976, 237, 3, 62
  • 菊池正典. 日本学術振興会第145委員会第68回研究会,東京. 1994, 11
  • TARUI, Y. IEEE Circuits and Devices. 1991, 7-2, 44
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タイトルに関連する用語 (2件)：
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学生

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シリコンウエハー

シリコンウエハー について


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