低k誘電体の探索

文献

J-GLOBAL ID：200902110403157670 整理番号：99A1043507

In Search of Low-k Dielectrics.

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巻： 286 号： 5439 ページ： 421,423 発行年： 1999年10月15日
JST資料番号： E0078A ISSN： 0036-8075 CODEN： SCIEA 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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