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J-GLOBAL ID：200902110596227696   整理番号：01A0972950

ソリッドイマージョンミラー(SIM)の超精密ELID研削

著者 (9件)： 守安精 (理研) ,  上原嘉宏 (理研) ,  鈴木享 (理研) ,  林偉民 (理研) ,  山形豊 (理研) ,  大森整 (理研) ,  上柳喜一 (富士ゼロックス) ,  鈴木貞一 (富士ゼロックス) ,  若林公宏 (富士ゼロックス)
資料名： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集  (ABTEC)
巻： 2001  ページ： 129-130  発行年： 2001年09月14日 
JST資料番号： L0894A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 既存の超精密6軸CNC加工機にELID研削装置を取り付け,ガ...

シソーラス用語： *精密研削 ,...
準シソーラス用語： ELID研削

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分類 (1件)： ガラスの製造  (YC02020O)

タイトルに関連する用語 (2件)： 超精密 ,  ELID研削