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J-GLOBAL ID：200902110711541251   整理番号：00A0627315

LED式膜厚センサの開発 IN-LINE型半導体プロセスセンサの実現

Development of Thin Film Thickness Monitor System. Realization of In-line Semiconductor Process Sensor.

著者 (3件)： 江川弘一 (オムロン) ,  椿阪正純 (オムロン) ,  黒川雅裕 (オムロン)
資料名： Omron Technics  (Omron Technics)
巻： 40  号： 2  ページ： 155-159  発行年： 2000年06月20日 
JST資料番号： S0266A  ISSN： 0474-1315  CODEN： OMTKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体プロセスにおける成膜工程,レジスト塗布工程などにおいて...

シソーラス用語： *膜厚 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： LED ,  膜厚 ,  開発 ,  LINE ,  半導体プロセス