粒子ビーム用の焦電検出器

VIEHL A; KANYO M; VAN DER HART A; SCHELTEN J

文献

J-GLOBAL ID：200902110767523051 整理番号：93A0400715

粒子ビーム用の焦電検出器

Pyroelectric detector for particle beams.

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資料名：
巻： 64 号： 3 ページ： 732-736 発行年： 1993年03月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

電子素子技術におけるイオンビームエッチングやスパッタリング用...

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電子ビーム,イオンビーム

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