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J-GLOBAL ID：200902111122026718   整理番号：97A0477003

Boltzmann方程式の2項近似によるCF₄ RF-CCPモデリング

A modeling of CF4 RF-CCP by two term approximation of the Boltzmann Equation.

著者 (4件)： 栗原優 (慶応大 理工) ,  松井潤 (慶応大 理工) ,  中野誠彦 (慶応大 理工) ,  真壁利明 (慶応大 理工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 44th  号： 1  ページ： 12  発行年： 1997年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： Boltzmann方程式 ,  近似 ,  モデリング