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J-GLOBAL ID:200902111310653061   整理番号:93A0387786

Boundary Layer Profiles in Plasma Chemical Vapor Deposition.

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資料名:
巻: 259  号: 5102  ページ: 1726-1729  発行年: 1993年03月19日 
JST資料番号: E0078A  ISSN: 0036-8075  CODEN: SCIEA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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