Si上のSi注入SiO<sub>2</sub>薄膜の発光性Siナノ結晶の深さ分布

BRONGERSMA M L; POLMAN A; MIN K S; ATWATER H A

文献

J-GLOBAL ID：200902111375597770 整理番号：99A0737038

Si上のSi注入SiO₂薄膜の発光性Siナノ結晶の深さ分布

Depth distribution of luminescent Si nanocrystals in Si implanted SiO₂ films on Si.

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巻： 86 号： 2 ページ： 759-763 発行年： 1999年07月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Si(100)上に熱成長させた110nm厚さのSiO<sub...

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半導体のルミネセンス , 酸化物薄膜

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Si上のSi注入SiO2薄膜の発光性Siナノ結晶の深さ分布

Si上のSi注入SiO₂薄膜の発光性Siナノ結晶の深さ分布