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J-GLOBAL ID：200902111430092942 整理番号：97A0310423
半導体洗浄機の小型化 島田理化工業における半導体洗浄装置小型化の取り組み コンパクトウエットステーション
Size-reduction of semiconductor cleaning equipment. Challenge to the size-reduction of semiconductor cleaning equipment in Shimada Rika Industry. Compact, wet station.
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著者 (1件)：
池田敏治
池田敏治 について
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(
島田理化工業
)
島田理化工業 について
名寄せID(JGON) 201551000096963854 ですべてを検索
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資料名：
クリーンテクノロジー (Clean Technology)
クリーンテクノロジー について
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巻：
7
号：
3
ページ：
26-28
発行年：
1997年03月
JST資料番号：
L1138A
ISSN：
0917-1819
CODEN：
KTEKER
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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工程対応の装置実現,洗浄トレイ採用による洗浄槽小型化を目指し...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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洗浄装置
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分類 (1件)：
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